真空蒸镀以及溅射镀膜传统的蒸镀以及溅射镀膜均主要利用中性粒子成膜,膜层粒子到达基片时的速度较低,因此会产生诸如:沉积速率低、膜层附着力差、膜层不致密等问题。而离子镀技术则很好地解决了这些问题。
离子镀技术最早由D. M. Mattox于1963年提出并付诸实践的。其原理是在真空条件下,利用气体放电使气体或被蒸发物质离...
IC Insights近日发布最新一版的 2016 McClean Report研究报告,公布了2015年全球晶圆代工厂(包括纯晶圆代工服务业者以及IDM厂商的代工业务)排行榜。到目前为止,台积电(TSMC)是晶圆代工产业的2015年销售业绩龙头,去年销售额达到了264亿美元;而台积电的2015年业绩是排名第二的GlobalFoundries之五倍(就算后者的业绩在2015下...